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浅析功率半导体IGBT及SiC技术的相关知识-【MOSFET】
发布时间:2024-04-02 10:20:50 来源:江南官方体育APP下载 作者:江南app官方网站

  器。用于实现大功率直流/交流变换之后驱动电动机,还可用于捕获再生制动能量并回馈给电池组,是新能源汽车的“心脏”,决定了汽车的功能安全性,高速平稳性和绿色舒适性。

  由于新能源汽车对续航里程的高需求,使得电能管理需求更精细化,这些对绝缘栅双极晶体管(Insulated Gate Bipolar Transister,IGBT)、MOSFET二极管等功率分立器件的需求远高于传统汽车,在新能源汽车率半导体占了整车半导体的55%左右。

  功率半导体器件作为电能转换、驱动、控制等电力电子装置的基础和核心,是推动电力电子系统转化效率、功率密度、体积重量等方面优化的关键因素之一。

  下面来看看功率半导体IGBT的分布,其中红色为后置发动机,绿色为前置发动机。机舱地板下方是四个电池组。逆变器(蓝色)集成在电机外壳中,并与其共享冷却回路。逆变器将电池的直流电转换为电机交流电,也是IGBT模组安装的地方。

  1946年1月,远在太平洋彼岸的美国BELL实验室正式成立了一个半导体研究小组,小组内有3名核心成员,分别是Schokley、Bardeen和Brattain,俗称“晶体管三剑客”。

  三剑客有自己的研究优势,Bardeen提出了表面态理论,Schokley给出了实现放大器的基本设想,Brattain设计了实验。

  在三剑客成立的次年,1947年巴丁(Bardeen)和布莱登(Brattain)发明了点接触(point‒contact)晶体管。接着在1949年肖克莱(Shockley)发表了关于p‒n结和双极型晶体管的经典论文。有史以来的第一个晶体管中,在三角形石英晶体底部的两个点接触是由相隔50μm的金箔线压到半导体表面做成的,所用的半导体材料为锗;当一个接触正偏(forward biased,即对于第三个端点加正电压),而另一个接触反偏(reverse biased)时,可以观察到把输入信号放大的晶体管行为(transistoraction)。

  既然说IGBT集成BJT和MOSFET的优点于一身,那么什么是BJT,什么是MOSFET呢?

  半导体应用离不开硅元素,来看一下硅元素的特点,在元素周期表中,硅排列在第14位,硅原子最外层有4个电子,分别与周围4个原子共用4对电子,这种共用电子对的结构称为共价键(covalent bonding)。每个电子对组成一个共价键。这部分知识初中化学学过,来张图片直观看看:

  左边这张图是单晶硅的晶体结构,为金刚石晶体结构。右边这张图是硅原子共用电子的情况,中间一个硅原子和四个硅兄弟共用电子。

  突然有一天,物理学家想到一个问题,要是硅家不是和硅兄弟共用电子,把其他兄弟拉进群会怎样?物理学家有一天把砷兄拉进了群,于是奇迹发生了:

  砷兄弟最外层有5个电子,其中4个电子找到了硅家的对象,另外一个电子单着了,这个电子成了无业游民,到处流窜,由于电子带有电荷,于是改变了硅家的导电性。此时的砷原子多提供了一个电子给硅家,因此砷原子被称为施主。

  硅家的自由电子多了以后,带负电的载流子增加,硅变成n型半导体。为啥叫N型?在英文里Negative代表负,取这个单词的第一个字母,就是N。 同样,物理学家想,既然可以拉电子多的砷元素进群,那么是否也可以拉电子少的硼原子进群?于是物理学家把硼原子拉进来试试。

  由于硼原子最外层只有3个电子,比硅少一个,于是本来2对电子的共价键现在成了只有一对电子,多了一个空位,成了带正电的空穴(hole)。此时的硅基半导体被称为p型半导体,同样P来自英文单词Positive(正极)的首字母,而硼原子则被称为受主。

  举个例子,P型半导体是一块正方形的泥巴,这个泥巴里有很多孔洞(空穴),类似于我们看到的龙虾洞。N型半导体也是一块正方形的泥巴,这个泥巴中藏了很多龙虾(自由电子)。当我们把这两块泥巴贴在一起的时候,龙虾就会往龙虾洞的方向爬(电子漂移)。在电子的漂移下,PN结中形成电流。

  再说一说晶体管的功能,晶体管(transistor,是转换电阻transfer resistor的缩写)是一个多重结的半导体器件。通常晶体管会与其他电路器件整合在一起,以获得电压、电流或是信号功率增益。

  在电路中晶体管的主要作用是当作开关。可利用小的基极电流在极短时间内改变集电极电流由关(off)成为开(on)(反之亦然)。关是高电压低电流,开是低电压高电流。

  双极型晶体管(bipolar transistor)的结构:双极型器件是一种电子与空穴皆参与导通过程的半导体器件,由两个相邻的耦合p‒n结所组成,其结构可为p‒n‒p或n-p-n的形式。

  下图为p‒n‒p双极型晶体管的透视图,其制造过程是以p型半导体为衬底,利用热扩散的原理在p型衬底上形成一n型区,再在此n型区上以热扩散形成一高浓度的p+型区,接着以金属覆盖p+、n以及下方的p型区形成欧姆接触。

  下图为p‒n‒p双极型晶体管,具有三段不同掺杂浓度的区域,形成两个p‒n结。浓度最高的p+区称为发射区(emitter,以E表示);中间较窄的n型区域,其杂质浓度中等,称为基区(base,用B表示),基区的宽度需远小于少数载流子的扩散长度;浓度最小的p型区域称为集电区(collector,用C表示)。各区域内的浓度假设均匀分布,p‒n结的概念可直接应用在晶体管内的结上。

  了解了BJT后,再来了解下MOSFET的定义。先了解MOSFET的前半部分,也就是MOS器件。

  金属‒氧化物‒半导体(MOS)电容在半导体器件中占有重要的地位,它是研究半导体表面特性最有用的器件之一,它也是先进集成电路中最重要的MOSFET器件的枢纽。

  理想MOS电容:MOS电容的透视结构如下图所示,为其剖面结构,其中d为氧化层厚度,而V为施加于金属平板上的电压。当金属平板相对于欧姆接触为正偏压时,V为正值;而当金属平板相对于欧姆接触为负偏压时,V为负值。

  n沟道MOSFET如下图,它是一个四端点器件,由一个有两个n+区域(即源极与漏极)的p型半导体组成。对于p沟道MOSFET,衬底和源、漏区的掺杂类型分别为n和p+。

  氧化层上的金属称栅极(gate),高掺杂或结合金属硅化物如WSi2的多晶硅可作栅电极,第四个端点为连接至衬底的欧姆接触。

  基本器件参数有沟道长度L(两个n+‒p结间的距离)、沟道宽度Z、氧化层厚度d、结深度rj以及衬底掺杂浓度NA。器件中央即为MOS电容。

  MOSFET的基本特性:MOSFET中源极接点作为电压参考点。栅极无外加偏压时,源极到漏极电极间可视为两个背靠背相接的p‒n结,而由源极流向漏极的电流只有反向漏电流。

  这些定义读起来有些绕口,总体功能类似与一个水龙头开关,可以控制水流流向及大小,在内部结构上,可以通过下图来看MOSFET、BJT及IGBT内部结构差异:

  对其中一款IGBT模块进行拆解,IGBT模块内部结构如下图所示,在制造过程中主要可以分为两部分,一部分是IGBT芯片的封装及测试,另一部分是IGBT芯片的设计及制造:

  (2)直接敷铜陶瓷基板(DirectCopperBonded,DCB):包括上铜层、陶瓷基板层和下铜层三个部分。上铜层的正面根据需求刻蚀成了电路,可以为IGBT芯片的集电极、发射极和栅极等电极提供中转以及互连。陶瓷基板层常采用氧化铝或者氮化铝材料制成,它主要是为芯片和其下部的结构层提供绝缘,同时为芯片和上铜层提供支撑和散热。下铜层的主要作用是为各个芯片提供散热路径。

  (4)焊料层:主要起到了连通芯片、直接敷铜陶瓷基板的上铜层、直接敷铜陶瓷基板的下铜层和铜基板的作用。

  (5)Al键合线:通常采用多根并联的方式,键合线一端键合于芯片上,另一端键合于直接敷铜陶瓷基板的上铜层。Al键合线的主要作用是实现芯片与外部连接端子之间的互连。

  (6)Al金属化层:具有延展性好,导电性能优等特点,促成了IGBT芯片与Al引线)外部连接端子:包括发射极母排和集电极母排,它们一端跨接在直接敷铜陶瓷基板的上铜层,另一端裸露于器件外部,主要实现IGBT芯片与外部电路的互连。

  (9)外壳:包括由环氧树脂制成的侧框和上部的管盖,可以保护IGBT模块内部的互连结构层免受外部环境的影响。

  的外观及截面如下图所示,其中上铜层布置功率半导体/二极管芯片/键合线等电气部分,由DBC提供电路布局、绝缘、传热、机械支撑等功能,散热基板向上支撑衬。

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